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2021-04-06

洁净室洁净度、通风参数与高效空气过滤器的关系


  今天,我们来聊一聊洁净室洁净度、通风参数与高效空气过滤器的关系。目前要求较为严格的洁净室工程中所用的高效空气过滤器一般都要求采用光散射粒子计数器对其进行逐行扫描检验检漏:首先测定高效空气过滤器的上风侧静压箱内(或风管内)粒径大于或等于0.5μm的尘粒数应为大于或等于30,000粒/升。如若不够,可引入烟雾,然后开始检漏。目前国内对于高效过滤器出厂全部检漏很少,我们将粒子计数器(或检漏装置)的采样口距离高效空气过滤器2-3厘米处,可以2-4厘米/秒的速度移动,对高效空气过滤器整个断面封头胶处和安装框架处进行扫描。当粒子计数器读数为空气口大于或等于0.5μm的尘粒超过3粒/分·升(或其穿透率大于0.01‰)即认为该处有明显渗漏,必须进行堵漏。

  过滤器的质量达标 , 通风参数 ( 唤气次数或平均风 速) 是决定洁净工程质量的关键因素。

  国内可以开展洁净室施工的单位成千上万,为了能顺利通过洁净室的验收,很多都采用远高于标 准要求的换气次数。对于各种洁净 室的唤起次数及平均风速的取值也有差别。换气次数少,投资省,运行成本低,洁净度上有风险。 很多单位的洁净室验收都是在静态状态下进行,经过长时间 的自净,一般都可以获得很高的洁净度测试结果,但实际的运行情况,未必如此。 单向流洁净室也称 " 层流 " 或匀流洁净室,这种洁净室的平均 风速至关重要, 粉尘的自由扩散速度是 0.15-0.2m/s, 如果风 速压不住粉尘的扩散速度 , 使用效率再高的过滤器也达不到 预期的效果。非单向流洁净室,也称乱流洁净室,洁净室靠送风来稀释尘埃,以达到一定的洁净度要求。乱流洁净室由于室内操作人 员较多、设备和生产过程中发尘量也较大,高效效率的高低 不是决定性因素

  注:U- 单向流 ,N- 非单向流 ,M- 单向与非单流

 

ISO14644分级 对应传统规格 气流形式 平均风速 m/s  换气次数  末端过滤器效率  过滤器检测方法
ISO1 - - -   ≥ 99.999% 逐行扫描
ISO2 - U 0.3-0.5   ≥ 99.999% 逐行扫描
ISO3 1 U 0.3-0.5   ≥ 99.999% 逐行扫描
ISO4 10 U 0.3-0.5   ≥ 99.999% 逐行扫描
ISO5 100 U 0.3-0.5   ≥99.97% 总效率 或扫描
ISO6 1000 N,M -   70-160 总效率 或扫描
ISO7 10000 N,M -   20-70 总效率 或扫描
ISO8 100000 N,M -   10-20 总效率 或扫描
ISO9 1000000 - -   -  

 


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